Bildgestützte Lagebestimmung von Wafern

Ausgangslage

Deutsch: Beladestationen werden im Produktionsprozess von Halbleiterbauelemente verwendet, um Silizium-Wafer innerhalb einer Anlage zu transportieren. Dabei stellt der Fertigungsprozess hohe Anforderungen an die exakte Positionierung der Wafer in den Beladestationen. Es ist ein kamerabasiertes Messsystem zur akkuraten Lagebestimmung von Wafer in Beladestationen zu entwickeln.

English: Loading stations are used in the production process of semiconductor components to transport silicon wafers within a facility. The manufacturing process places high demands on the exact positioning of the wafers in the loading stations. It is necessary to develop a camera-based measuring system for the accurate position determination of wafers in loading stations.

Zielsetzung

Als Endergebnis soll ein Prototyp vorhanden sein, der die bildgestützte Lagebestimmung von Wafern ermöglicht. Unterschiedliche bildbasierte Methoden zur Lagebestimmung sollen reproduzierbar evaluiert und auf deren Eignung zum Einsatz im Echtbetrieb hin bewertet werden. Die detaillierten Evaluierungsergebnisse sind umfassend in der Diplomarbeit dargestellt.

Aufgaben

Hier sehen Sie die individuellen Themenstellungen/ Untersuchungsanliegen:

Die Rotation und die laterale Position eines, in einer Beladestation abgelegten, Wafers, soll mit einem Raspberry Pi basierten Kamerasystem gemessen werden.

Chiara Carmen Reßmann: Ein Prototyp einer Beladestation ist so zu erweitern, dass eine bildbasierte Lagebestimmung ermöglicht wird. Im Besonderen ist ein Kamerasystem mit geeigneter Belichtung vorzusehen, welches die Bilddaten auswertet und an einen PC übermittelt. Es ist ein System zur Bestimmung der Messunsicherheit und der Reproduzierbarkeit des Messsystems zu entwickeln.

Sigrid Christine Haan: Es sind Bildverarbeitungsalgorithmen, welche eine möglichst akkurate Lagebestimmung anhand unterschiedlicher Testmuster ermöglichen, mit dem Softwarepaket Matlab zu entwickeln.