Willkommen
Auf dieser Homepage erhalten Sie Informationen rund um das Projekt AkteEX.
Kurzbeschreibung
Deutsch
Bei den Wafer-Belichtungsanlagen werden regelmäßig Lampenmessungen durchgeführt. Die Dokumentation der Messergebnisse wurde mit einer vollgestopften Exceltabelle gelöst. Die Möglichkeit der Auswertung und präventiven Fehlererkennung war dadurch sehr begrenzt. Es ist schon oft vorgekommen, dass ungeplante Störungen im Optik-Bereich aufgetreten sind, die in den meisten Fällen viel Zeit und Geld kosten.
Mit AkteEX wird sich das in Zukunft ändern. Mit jeder neuen Messung werden 55 Attribute aufgenommen, verarbeitet, in einer Datenbank abgespeichert und für den Benutzer wieder übersichtlich ausgegeben. Durch Benachrichtigungen und Hinweise von AkteEX kann geplant werden welche Bauteile in naher Zukunft benötigt und für den Austausch bestellt werden müssen.
Unser Projekt wird bearbeitet und erstellt an der HTL Mössingerstraße
English
Lamp measurements are done regularly on our wafer exposure systems. The documentation of the measurement results was documented into a crammed Excelfile. The possibility of evaluation and preventive error detection was therefore very limited. It has happened many times before that unplanned disruptions have occurred in the optical path of the machine, which in most cases cost a lot of time and money.
This will change in the future with AkteEX. With each new measurement, 55 attributes are recorded, processed, saved in a database and displayed again for the user. Notifications and instructions from AkteEX are going to be used to plan which replacement components will be required in the near future.
Dieses Projekt wird gemeinsam mit einem Wirtschaftspartner durchgeführt:
