Kurzbeschreibung (Deutsch)
Die Diplomarbeit verfolgt das Ziel, den derzeit zeitgesteuerten und manuell betriebenen
Wasch- und Messprozess von Wafern zu optimieren. Der aktuell eingesetzte Prozess führt zu
einem übermäßigen Wasserverbrauch und trägt zur Umweltbelastung bei, da die Spülung auch dann
fortgesetzt wird, wenn keine Kontamination mehr vorliegt. Im Rahmen des Projekts wird eine nachhaltigere
und effizientere Lösung entwickelt. Der Hardware-Teil umfasst Konstruktion und Bau eines effizienter arbeitenden
Überlaufbeckens, dessen Design sich an einem bestehenden Modell der Firma Infineon orientiert. Im Software-Teil wird
ein Mikrocontroller programmiert, der die automatisierte Messung des pH- und Leitwertes während des Spülvorgangs ermöglicht
und den Waschprozess beendet, sobald das Abwasser chemisch rein genug ist. So sollen Ressourcen geschont und der Prozess optimiert werden.
Jonas Grabner ist für den Bau des Überlaufbeckens verantwortlich, während Džana Biber die Programmierung des Mikrocontrollers übernimmt.
Short Description (English)
The aim of this diploma project is to optimize the currently time-controlled and manually
operated wafer washing and measurement process. The current process results in excessive
water consumption and contributes to environmental impact, as rinsing continues even when no contamination is present.
The project will develop a more sustainable and efficient solution. The hardware aspect includes the design and construction of
a more efficient overflow tank, modeled after an existing design by Infineon. The software aspect involves programming a microcontroller
that enables automated measurement of pH and conductivity during the rinsing process and stops the washing process once the wastewater
is chemically clean enough. This approach conserves resources and optimizes the process. Jonas Grabner is responsible for building the
overflow tank, while Džana Biber handles the programming of the microcontroller.
Details
Detail 1: pH-Messung
Die pH-Messung stellt neben der Leitwertmessung einen der wichtigsten Teile in der gesamten Arbeit da.
Sie ist verantwortlich für die Bestimmung des Säuregehaltes im Wasser, um eine Reaktion der
Leitwertelektrode mit korrosiven Wassermischungen zu verhindern.
Detail 2: Leitwertmessung
Die Leitwertmessung gilt als Herzstück des gesamten Projektes.
Solch eine Messung ermöglicht es, den genauen Säuregehalt bzw. die
genaue Kontamination im Wasser zu bestimmen. Zusammen mit einem Mikrocontroller,
kann durch Festlegung eines Sollwertes die Messung an dem Punkt gestoppt werden,
an dem keine Kontamination mehr vorliegt.
Zielsetzung
Mit dem Bau eines automatisierten Überlaufbeckens, welches den Waschprozess
bei chemischer Reinheit des Spühlwassers automatisch stoppt,
wird Wasser gespart sowie deroperative Aufwand reduziert.
Unser Kooperationspartner: Infineon
Als Kooperationspartner fungiert das im Halbleiter-Bereich tätige Unternehmen Infineon,
für welches das Projekt eine effizientere und somit umweltfreundlichere Möglichkeit darstellen soll,
Wafer zu reinigen. Durch die finanzielle sowie Know-How bezogene Unterstützung ist eine Realisierung des Projektes möglich.
